2024-04-16 09:12:30
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近日,海光智能科技传来了振奋人心的喜讯,公司成功荣获多项国家级专利认证,其中包括MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)和钻石沉积设备专利,这一成就标志着海光智能科技在科技创新领域取得了重大突破,展现了公司强大的研发实力和技术创新水平。

发明专利证书:
本发明公开了一种可升降的MPCVD生长台,包含底板、升降驱动装置、密封盖与板、水冷组件等部件。密封盖与驱动装置相连,并与密封板共同形成反应腔。金刚石生长台设置在下密封板上,配有升降通槽与定位环,驱动装置连接定位环,水冷组件冷却定位环。生长过程中,可通过驱动装置调节样品金刚石与等离子体间距,避免过热,确保金刚石持续生长与高质量沉积。


实用新型专利证书:
本实用新型针对钻石沉积技术,创新设计了一种专用设备。该设备包含安装座、底座、顶盖及升降驱动装置。底座与驱动装置均稳固安装于安装座顶部。驱动装置的移动端设有夹持件,夹持件内部留有空间以固定顶盖。夹持件位于底座正上方,通过驱动装置实现顶盖与底座的盖合与分离,形成反应腔室。本设计避免了传统技术中顶盖可翻转带来的底座受力不均、易损坏问题,保证了反应腔的稳定性和耐用性。


海光智能科技在获得这些国家级专利认证的背后,是公司多年来对科技创新的坚持和投入。公司拥有一支高素质的研发团队,具备强大的研发能力和创新能力。同时,公司还注重与国内外知名企业和科研机构的合作与交流,不断引进先进技术和管理经验,为公司的创新发展提供了有力保障。

海光智能科技更多专利认证:








此次荣获多项国家级专利认证,不仅是对海光智能科技研发实力的认可,更是对公司未来发展潜力的肯定。相信在公司的不断努力下,海光智能科技将继续在科技创新领域取得更多突破,为推动我国科技事业的繁荣发展做出更大贡献。


海光智能科技以MPCVD技术为核心,长期致力于高品质金刚石材料及相关装备的研发与制造,拥有先进的MPCVD设备,激光加工设备以及精密抛光设备。海光智能科技的MPCVD技术设备能够制造出高质量的金刚石,从而帮助提升集成电路的性能。我们的产品和服务旨在为客户提供最佳的解决方案,以满足客户对高质量金刚石和集成电路性能的需求。
Z轴系统:MPCVD 设备稳定生产的关键
微波等离子体化学气相沉积技术,是目前行业内生产高品质金刚石的主流方法。设备运行时,会先将反应腔体抽成真空状态,严格保证腔体内部密封不透气。随后,微波设备释放能量,同时向腔体内通入专用的混合反应气体,在能量作用下形成稳定的等离子体区域。这些高活性的等离子体,会为金刚石生长提供稳定的热量与反应条件,让金刚石在籽晶基材上缓慢、均匀地结晶生长。 这种生产方式无额外污染,等离子体纯净度高,生长过程温和稳定,不会损伤已成型的金刚石晶体,因此被广泛用于工业金刚石、半导体散热材料、高端培育钻石等多种产品的生产制造。
如何选择适合的MPCVD设备?
在工业生产、半导体散热、精密刀具、培育钻石等众多领域,MPCVD设备都是非常关键的装备。选对设备,不仅能提高生产效率、稳定产品品质,还能有效控制长期成本,让整个生产流程更顺畅、更有竞争力。很多朋友在选型时都会纠结:到底该怎么选?今天结合我们海光智能多年的行业经验,和大家分享一套实用、易懂的选型思路。
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