2024-08-21 09:12:35
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近日,海光智能科技再次传来喜讯,企业凭借卓越的技术研发实力和创新能力,成功荣获多项国家级专利,进一步巩固了其在MPCVD领域的领先地位。这些专利的获得,不仅彰显了海光在技术创新上的深厚底蕴,更为推动中国金刚石行业科技突破建设贡献了重要力量。

本发明公开了一种可升降的MPCVD生长台,包含底板、(Z轴)升降驱动装置、密封盖与板、水冷组件等部件。密封盖与驱动装置相连,并与密封板共同形成反应腔。金刚石生长台设置在下密封板上,配有升降通槽与定位环,驱动装置连接定位环,水冷组件冷却定位环。生长过程中,可通过驱动装置调节样品金刚石与等离子体间距,避免过热,确保金刚石持续生长与高质量沉积。


实用新型专利证书
其中,海光智能科技也申请了多项实用新型专利,包括一种用于钻石沉积的设备专利、一种MPCVD生长台设备的升降装置专利、一种MPCVD微波谐振装置和金刚石生长系统专利、一种用于金刚石生长设备的进气管系统专利、一种用于金刚石生长设备的冷却系统专利、一种用于金刚石生长设备的气体吸排系统专利、一种MPCVD设备用带水冷的密封罩结构专利、一种晶体超声波清洗置物架专利、一种MPCVD设备带水冷装置的舱门结构专利等。









海光智能科技荣膺国家级外观设计专利,包括“沉积设备(钻石)”与“化学气相沉积设备”,以其精湛工艺与独特设计,彰显了公司在钻石培育技术领域的创新实力与美学追求。这两项专利不仅是技术的突破,更是工业设计与高效生产的完美结合。



此次荣获多项国家级专利认证,不仅是对海光智能科技研发实力的认可,更是对公司未来发展潜力的肯定。相信在公司的不断努力下,海光智能科技将继续在科技创新领域取得更多突破,为推动我国科技事业的繁荣发展做出更大贡献。

Z轴系统:MPCVD 设备稳定生产的关键
微波等离子体化学气相沉积技术,是目前行业内生产高品质金刚石的主流方法。设备运行时,会先将反应腔体抽成真空状态,严格保证腔体内部密封不透气。随后,微波设备释放能量,同时向腔体内通入专用的混合反应气体,在能量作用下形成稳定的等离子体区域。这些高活性的等离子体,会为金刚石生长提供稳定的热量与反应条件,让金刚石在籽晶基材上缓慢、均匀地结晶生长。 这种生产方式无额外污染,等离子体纯净度高,生长过程温和稳定,不会损伤已成型的金刚石晶体,因此被广泛用于工业金刚石、半导体散热材料、高端培育钻石等多种产品的生产制造。
如何选择适合的MPCVD设备?
在工业生产、半导体散热、精密刀具、培育钻石等众多领域,MPCVD设备都是非常关键的装备。选对设备,不仅能提高生产效率、稳定产品品质,还能有效控制长期成本,让整个生产流程更顺畅、更有竞争力。很多朋友在选型时都会纠结:到底该怎么选?今天结合我们海光智能多年的行业经验,和大家分享一套实用、易懂的选型思路。
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